由于半导体激光器结构的特点,在其应用中需对其波束进行整形,为了有利于大功率半导体激光器的推广应用,需准确识别大功率半导体激光器的输出分布特性。该文从M2因子、远端发散角,近端及远端的光强分布等方面对大功率半导体激光器的光束质量进行了测量技术研究,给出了相应的测量方案和误差分析。