利用FFV预测缓蚀剂在不同体系中的协同效应

作者：陆原; 赵景茂^*; 李明杰; 张晨; Vahdat Zahedi Asl; Yahya Palizdar; 樊保民

来源：表面技术, 2020, 49(11): 58-65.

DOI：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2020.11.007

• 缓蚀剂
• 缓蚀率
• 腐蚀
• 协同效应
• 自由体积分数

目的研究一种分析缓蚀组分间协同效应的新方法。方法使用Material Studio 7.0软件中的Amorphous Cell模块进行对象构建,在不同体系中利用Discover模块进行优化和运算,以水分子为探针进行FFV值测试,模拟计算得到FFV,再利用其变化率,来预测缓蚀组分间的协同效应,并通过传统方法验证该方法的正确性。结果 FFV模拟结果表明,在CO2体系中,MTIAS与AB2N具有协同效应,当二者按照摩尔比3∶2复配时的FFV最小,FFV的变化值D值最大,协同效应最好,缓蚀效率最高,而MTIAS与CPQA没有明显协同效应。在CO2/H2S体系中,MTIAS与CPQA按照摩尔比4∶1复配时的FFV最小,D值最大,协同效应最好,缓蚀效率最高;而当按照摩尔比1:4复配时,却出现了明显的拮抗效应,此时MTIAS与AB2N没有明显协同效应。失重法、极化曲线的测试结果与上述结果吻合。结论通过缓蚀剂膜层的FFV预测缓蚀组分间的协同效应,是一种快速有效的研究方法。

• 单位
  北京化工大学; 北京工商大学