纳米金属氧化物气敏薄膜厚度效应的实验规律和理论

作者：袁庆华; 李蕾; 刘文利; 李建明; 裘南畹

来源：实验室研究与探索, 2005, 24(11): 22-25.

DOI：10.3969/j.issn.1006-7167.2005.11.008

• 厚度效应
• 特征时间
• 介观效应

给出了动态厚度效应特征时间的公式,灵敏度Sn与膜厚l的关系和存在最佳膜厚的特征,电导激活能随膜厚变化的特征。提出了发展气敏机理的扩散反应功能概念;提出了在纳米气敏晶粒中引入介观效应概念和修正Fermi统计的要求。

• 单位
  山东大学