一种电场传感器用具有高灵敏度的封装盖板及其封装装置

来源：传感器世界, 2022, 28(05): 49.

<正>申请号:202210014410.6【申请日】2022.01.07【公开号】CN114019258B【公开日】2022.03.22【分类号】G01R29/12; G01R1/02; G01R1/04; H05K7/20【申请人】江苏浦丹光电技术有限公司【发明人】向美华【摘要】本发明涉及电子元器件技术领域，具体为一种电场传感器用具有高灵敏度的封装盖板及其封装装置，