摘要
本发明公开了一种波纹型薄片对称分布的大行程高精度定位平台,包括由外向内相隔一定间隙依次相套设置的方框形终端平台、方框形过渡平台及支架,过渡平台两相对边外侧与终端平台之间以及支架两相对边外侧与过渡平台之间各自对称地连接有弹性装置,且连接在过渡平台与终端平台之间的弹性装置和连接在支架与过渡平台之间的弹性装置在空间上相互垂直。本发明能在定位平台整体尺寸很小的情况下获得大幅度的二维平动输出,可根据具体工作要求改变波纹型薄片的结构尺寸,得到适当的运动幅度和整体刚度;大大增加了平台的整体柔度,提高了输出的稳定性,降低了平动时终端平台的漂移,结构简单,加工方便,可分别加工再装配,也可一体化加工成型。
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