深紫外LED (UVC LED)是新型紫外线光源，可应用于病毒消杀、工业、通信等领域。近年来，AlGaN基UVC LED的外延技术取得了显著的发展，器件性能不断提升，展现出了良好的应用前景。本文综述了UVC LED外延技术的研究进展，主要介绍衬底、外延工艺与外延结构对UVC LED光电性能的影响。
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