射频源在刻蚀设备中的应用

作者：赵涛; 张琪

来源：价值工程, 2013, (31): 45-46.

DOI：10.14018/j.cnki.cn13-1085/n.2013.31.090

• 射频源
• 刻蚀设备
• 匹配网络 RF source
• etching equipment
• matching network

介绍了射频源的工作原理,以及在刻蚀设备上的应用。通过自动匹配网络实现真空腔体内输出功率的大小。

• 单位
  西安电力电子技术研究所