固态电解质Li_(1.3)Al_(0.3)Ti_(1.7)(PO_4)_3薄膜的溅射制备及其性能研究

作者：程实; 汪建元; 徐剑芳; 黄巍^*; 陈松岩

来源：厦门大学学报(自然科学版), 2022, 61(05): 800-807.

• 磁控溅射
• Li_(1.3)Al_(0.3)Ti_(1.7)(PO_4)_3薄膜
• 离子电导率
• 薄膜对称电池

通过射频磁控溅射制备Li1.3Al0.3Ti1.7(PO4)3(LATP)薄膜.X-射线衍射表征表明沉积的LATP薄膜为非晶态.改变溅射功率和氩气气压，发现在较大溅射功率(200 W)和较低气压(0.3 Pa)下制备的LATP薄膜具有较高的锂离子电导率，达到1.16×10-4 S/cm.将该优化条件下制备的LATP薄膜组装成Cu/LiCoO2/LATP/LiCoO2/Cu全固态薄膜对称电池，在7.8μA/cm2电流密度下循环700 h,极化电压依然稳定.以上结果显示LATP薄膜有望在固态薄膜锂离子电池中得到广泛应用.

• 单位
  厦门大学九江研究院