6-PSS型光学元件精密轴向调节机构

作者：郭抗; 巩岩

来源：光学精密工程, 2013, (10): 2648-2655.

• 光刻物镜
• 光学元件
• 调节机构
• 并联机构
• 一体化结构
• 6-PSS lithographic objective
• optical element
• adjustment mechanism
• parallel mechanism
• monolithic configuration
• 6-PSS

设计了一种采用6-PSS型并联机构的光学元件精密轴向调节机构,以使光刻物镜中光学元件的调节行程达微米级,调节精度达纳米级。将6-PSS型并联机构中的6个移动副改进为3个,减少了驱动器的使用数量,提高了轴向调节机构的可靠性;设计了一种圆角薄柔性铰链结构作为6-PSS型并联机构中的球铰副,实现了轴向调节机构的结构一体化,简化了光机组件的装调过程,提高了机构的机械精度;利用空间矢量法分析了机构输入构件与输出构件之间的位置关系,推导出了机构的传动比表达式,为机构主要结构尺寸的选取提供了依据。轴向调节机构的验证试验结果表明:机构传动比的理论计算值接近于实测值;轴向调节机构的调节行程为74.4μm,调节精...

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室