阳极层霍尔推力器刻蚀机理与仿真研究

作者：许丽^*; 唐德礼; 李平川; 张帆; 张正浩; 简毅; 赵杰

来源：真空科学与技术学报, 2022, 42(08): 601-607.

DOI：10.13922/j.cnki.cjvst.202109018

• 刻蚀速率
• 推力器
• 等离子体
• 入射能量
• 入射角余弦值

基于等离子体放电理论，利用三维粒子仿真方法，针对阳极层霍尔推力器的极靴刻蚀进行数值仿真研究。获得入射到上、下极靴的入射离子能量和角度的分布，以及上、下极靴不同表面的轰击离子数量。由结果可知阳极层霍尔推力器的上极靴上表面、上极靴内表面以及下极靴内表面这三个面上轰击离子数量较多，为其他三个面上轰击离子数量的30倍。接着详细分析放电电压、磁场强度、气压对三个面的刻蚀速率分布的影响。此研究结果为推力器寿命评估以及降低内下极靴刻蚀程度提供了可靠的研究方法。

• 单位
  核工业西南物理研究院; 成都理工大学工程技术学院