钛扩散铌酸锂脊形波导理论分析与初步制备

作者：李金洋; 要彦清; 吴建杰; 祁志美

来源：光学学报, 2013, (02): 203-209.

• 光学器件
• 铌酸锂
• 反应离子刻蚀
• 脊形波导 optical devices
• lithium niobate
• reactive ion etching
• ridge waveguide

铌酸锂脊形波导最近引起了广泛研究兴趣,它通常采用刻蚀钛扩散或质子交换铌酸锂条形波导或平板波导的方法制作而成。对由这两种方法制备的钛扩散铌酸锂脊形波导在1550nm波长处的横电基模光场分布进行了仿真分析。结果指出,当钛扩散条件相同时,通过刻蚀钛扩散铌酸锂平板波导得到的脊形结构在横向和纵向上对导模均具有更好的束缚能力。这种脊形波导的制作工艺相对简单,它对导模的强束缚有利于减小铌酸锂电光调制器尺寸和提高光电重叠积分因子。实验制备了钛扩散铌酸锂平板波导,并基于微机电系统(MEMS)工艺在其表面制作出Cr膜马赫-曾德尔干涉计(MZI)阵列图案,然后在SF6气氛中对平板波导进行反应离子刻蚀,初步得到了铌酸...

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所