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摘要
本发明公开了一种空气隙型薄膜体声波谐振器及其制备方法,所述谐振器包括从下到上依次分布的转移衬底、键合层、支撑层和压电薄膜,支撑层位于键合层上表面的两端,所述键合层、支撑层和压电薄膜围成一空气隙,在压电薄膜的上表面和下表面分别相对连接有顶电极和底电极,底电极位于空气隙中,所述顶电极、压电薄膜和底电极构成三明治结构,采用所述制备方法的FBAR结构简单、稳定,制造工艺对核心结构的损伤小,避免寄生电容的引入,可控性强,同时降低了FBAR制造的生产成本,可对很薄的薄膜进行加工,适用于高频领域。
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