应用分子动力学模拟研究了在纳米粒子的碰撞作用下,单晶硅表面局部区域的物相转变和结构演变.模拟表明在碰撞过程中,基体表面碰撞区域从初始的单晶体转变为熔融态,经历过冷液体状态之后凝固成为了非晶态.模拟揭示的凝固转变温度与硅玻璃化温度很接近.在颗粒反弹阶段,与发生的冷却过程和压力去除过程相一致,碰撞区域从瞬态的、高度无序、高度致密的过冷状态开始,经历了结构有序度的增加和向相对疏松状态的转变.碰撞之后所得非晶硅的平均配位数为5.27,其中配位数5,6原子构成了碰撞区域原子总数的61.5%.
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