塑封器件分层检测不合格原因探讨

作者：马清桃; 王伯淳; 王瑞崧

来源：电子与封装, 2019, 19(10): 13-48.

DOI：10.16257/j.cnki.1681-1070.2019.1004

• 塑封器件
• 缺陷判断
• 材料吸湿

在塑封半导体器件内部裂纹、空洞和分层缺陷的检测中,同样的样品不同单位、不同试验人员总会出现一些器件检测结果不一致的情况。为研究导致检测结果不一致的原因,通过对超声扫描检测技术原理和适用判据标准的阐述,对不同设备的比对验证以及对塑封器件材料的吸湿影响试验和分析,探讨了塑封器件分层检测不合格和不一致的原因,为同行业者提供借鉴和参考。

• 单位
  中国航天科工集团公司