软体机器人驱动方式与制造工艺研究进展

作者：雷静; 葛正浩^*; 覃兴蒙; 张衡; 常博^*

来源：微纳电子技术, 2022, 59(06): 505-599.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2022.06.002

• 软体机器人
• 仿生学
• 智能材料
• 软光刻
• 3D打印

软体机器人是指由软体材料制造而成的机器人，具有质量轻、灵活性高、环境适应性强、功能多样等优点，用途广泛。驱动方式和制造工艺是软体机器人研究的核心。介绍了软体机器人驱动方式的发展和研究现状，对形状记忆合金驱动、流体驱动、电驱动、化学驱动、磁驱动、生物驱动和混合驱动的主要特点和典型结构进行了介绍和分析；对形状沉积制造、软光刻、智能复合微观结构制备、浇铸成型和3D打印制造工艺优缺点以及柔性电子制造的最新进展进行了阐述，对软体机器人的未来发展方向进行了展望。

• 单位
  机电工程学院; 陕西科技大学