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摘要
提出一种基于Pound-Drever-Hall (PDH)调制技术的新型闭环控制方法,优化了微米光栅加速度计的信噪比和静态检测精度。采用电磁驱动实现自校准和反馈控制,相对于静电驱动降低了功耗提升了反馈效率,解决了开环检测方式下测量范围和灵敏度不可兼得的难题。对系统光学输出的干扰源进行本质分析,通过将闭环误差信号调制到高频,以消除光源自身的波动和杂散光干扰。经过相敏检测器(PSD)和解调滤波器后,得到了高信噪比的闭环误差信号。实验结果表明,微米光栅加速度计闭环检测输出的信噪比相对于开环检测提升了21 dB,0.5 g加速度输入下的偏置稳定性达到0.28 mg。
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