摘要

介绍了贯穿式旋片真空泵的结构及工作原理,建立了贯穿式旋片真空泵的几何模型,讨论了贯穿式旋片真空泵泵腔型线的建立以及工作腔的容积计算,精选了贯穿式旋片真空泵的性能计算,包括抽速、极限真空度以及真空度与时间的关系。最后测试某一贯穿式旋片真空泵的抽气性能,将测试值与计算值进行对比分析,验证了建立的贯穿式旋片真空泵性能的计算方法。关于贯穿式旋片真空泵的几何分析以及抽气性能的计算,对贯穿式旋片真空泵的设计分析具有一定的参考意义。

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