PMN-PZT多层厚膜微致动器的制作与分析

作者：荆阳; 雒建斌; 路新春; 张力

来源：机械工程学报, 2005, (03): 107-111.

• 镁铌酸铅
• 锆钛酸铅
• 多层膜元件
• "U"形微致动器
• 双级伺服系统 Lead magnesium niobate-lead zkconate titanate Piezoelectric Multilayer element "U"-type micro-actuator Dual-stage serve system

研制了一种用于计算机磁头精确定位的"U"形压电微致动器。该致动器由流延法在不锈钢(SUS304)基体上制备镁铌酸铅一锆钛酸铅(PMN-PZT)多层膜,并由丝网印刷工艺制作Ag／Pd内电极。在此基础上,在多普勒干涉仪(LDV)上对封装了压电元件的"U"形微致动器进行了测试。结果表明,该致动器具有优异的位移／电压灵敏度、谐振频率等特点。此外,有限元仿真进一步验证了多层结构的压电元件可以有效地提高压电微致动器的驱动能力。

• 单位
  摩擦学国家重点实验室