电感测微仪测量不确定度评定

作者：罗聿斌; 刘涛; 董宁; 蒋蜓露; 姚洁峥

来源：中国计量, 2022, (02): 108-109.

DOI：10.16569/j.cnki.cn11-3720/t.2022.02.014

<正>一、测量原理电感测微仪由主机台、高精度位移传感系统、机械运动系统、工件装夹系统、控制及数据处理系统、工业人机界面及应用软件等组成，结构如图1所示。本文选用3等量块，利用相对法对电感测微仪的测量误差进行校准。二、测量方法电感测微仪的测量误差校准以第一块量块对准零位，测得第二块量块受检点的测量误差，再以第二块量块对准零位，测得第三块量块受检点的测量误差。以此类推，直至所需配对的最后一块量块。