(Ti/ZnO)<sub>N</sub>成分调制纳米多层膜的结构与透光导电性研究

牛犇; 吴隽; 王凯丰; 黄成斌; 付豪; 祝柏林; 李涛涛; 姚亚刚

doi:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.20210622.004

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(Ti/ZnO)_N成分调制纳米多层膜的结构与透光导电性研究

作者：牛犇; 吴隽; 王凯丰; 黄成斌; 付豪; 祝柏林; 李涛涛; 姚亚刚

来源：人工晶体学报, 2021, 50(08): 1478-1484.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.20210622.004

摘要

采用射频（RF）和单极中频直流脉冲磁控溅射方法,在玻璃基板上制备了（Ti/ZnO）N成分调制纳米多层膜,并研究了调制周期数对其结构及透光导电性能的影响。通过X射线衍射、拉曼光谱、原子力显微镜、紫外可见吸收光谱以及霍尔效应测试结果表明:（Ti/ZnO）N成分调制纳米多层膜以（002）取向的纤锌矿型ZnO结构为主,具有明确的成分调制结构,各Ti层和各ZnO层厚度均匀连续,各界面平整且无明显扩散。在可见光范围的平均透光率大于85%,电阻率最小可达到2.63×10-2Ω·cm。