n沟肖特基势垒隧穿晶体管特性研究

作者：杜刚; 刘弋波; 孙雷; 刘晓彦; 韩汝琦

来源：固体电子学研究与进展, 2004, (01): 10-14.

• 蒙特卡罗器件模拟
• 肖特基势垒接触
• 肖特基势垒隧穿晶体管

利用自主开发的蒙特卡罗器件模拟软件 ,对 n沟肖特基势垒隧穿晶体管 (SBTT)的输出特性和转移特性进行了模拟 ,详细分析了沟道区掺杂浓度 ,源漏硅化物区深度以及栅氧化层厚度对 SBTT特性的影响。

• 单位
  北京大学