微电子工艺学对于半导体领域的发展起到至关重要的作用。通过本课程的学习，了解和掌握半导体材料制备技术、微电子器件与集成电路制造工艺原理与技术，为微电子器件和集成电路的设计和制造奠定基础。从教学手段、实践能力和考核方法三个方面对课程教学进行改革，增加学生学习兴趣，提高教学质量。
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