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摘要
本发明公开了一种真空室扇区内壁多点多普勒激光测振仪检测设备,该检测设备包括至少一个检测装置,每个检测装置包括底座安装系统、回转系统、摆动系统、检测系统以及驱动系统。底座安装系统包括下安装底座,下安装底座安装在真空室的中央支架的最小形变处。回转系统包括回转轴以及回转工作台,回转轴转动安装在下安装底座上,回转工作台安装在回转轴上。摆动系统包括两个支架、上安装底座、固定齿轮以及行星齿轮。检测系统包括安装平台和多普勒激光测振仪,驱动系统包括驱动电机一、驱动组件一、驱动电机二以及驱动组件二。本发明实现检测区域的全覆盖,可以测量多点的变形情况,提高测量效率,可以自动控制回转角度和摆角,提高精度。
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