环形抛光盘几何参数对去除函数的影响

作者：杨帆; 杜曼殊; 林晓辉^*

来源：厦门理工学院学报, 2020, 28(05): 9-15.

DOI：10.19697/j.cnki.1673-4432.202005002

• 环形抛光盘
• 去除函数
• 函数形状
• 误差修正能力
• 偏心率
• 中心孔径
• 行星运动

为获得与理想去除函数更为接近的去除函数,采用中心开孔的环形抛光盘作为抛光工具,推导环形抛光盘在行星运动方式下的去除函数模型,探究环形抛光盘偏心率m及中心孔径r1对去除函数形状及误差修正能力的影响。研究表明:当0<m<0. 6时,去除函数的中心区域出现较大程度的"凹陷",不具备理想去除函数特性;中心开孔孔径r1主要影响去除函数的峰值区域大小及边缘去除量,随着r1增大,去除函数中心峰值区域越窄,边缘去除量减小,去除函数呈现出"脉冲特性",有利于中频误差的修正;与应用较为广泛的圆形抛光盘去除函数相比,在相同偏心率m下,环形抛光盘的中频误差控制能力优于圆形抛光盘。

• 单位
  厦门理工学院