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摘要
电容薄膜真空计(Capacitance Diaphragm Gauge, CDG)是一种常用的粗低真空测量传感器，具有较高的测量精度和稳定性。温度是影响真空计量准确性的重要因素之一，环境温度的变化会导致CDG的测量结果发生较大的偏移。为探究温度对CDG测量结果的影响情况，开展了温度环境实验，考察了保温型与非保温型CDG在-30℃～50℃环境中测量结果的变化情况。实验结果表明，保温型CDG在额定温度0℃～45℃环境中测量结果较为稳定，温度高于或低于该区间范围时，测量结果会发生一定程度的偏移；温度对非保温型CDG造成的影响较大，利用温度-压力误差曲面可以修正CDG误差，提高真空计测量精度。
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