稀土掺杂Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜的介电及发光性能

作者：余岛; 刘茜; 刘庆峰

来源：Acta Physico - Chimica Sinica, 2008, (04): 695-699.

• 钛酸锶钡
• 稀土掺杂
• 介电
• 发光
• 组合材料芯片 Barium strontium titanate
• Rare earth-doped
• Dielectric
• Luminescence
• Combinatorial materials chip

以钛酸锶钡和稀土氧化物粉末靶为靶材,用离子束溅射法在MgO(100)和Si(100)基片上组合制备了不同掺杂浓度的Ba0.6Sr0.4TiO3∶Re(BST∶Re)薄膜样品阵列.沉积得到的多层无定形薄膜经低温扩散、高温晶化,形成BST∶Re多晶薄膜.以扫描近场微波显微镜测定BST∶Re/MgO(Re=Er,Eu,Pr/Al)样品的介电常数,研究掺杂种类及掺杂浓度对BST薄膜介电常数的影响.结果表明,稀土离子的适量掺杂使BST薄膜介电常数有所提高,其中,Er3+和Eu3+的最佳掺杂浓度分别为4.5%及5.7%(原子分数)左右时,介电常数值达到最高.而共掺杂Pr3+和Al3+的样品则在n(AL)∶...

• 单位
  中国科学院研究生院; 高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室; 中国科学院上海硅酸盐研究所