摘要

光学偏折测量技术作为高精度的非接触式测量方式,可在不损伤被测元件表面的同时,具有较高的空间分辨率和较大的测量动态范围。光学偏折测量系统结构简单,在现今越来越注重高精度、高效率和高通用性的光学复杂自由曲面测量领域中有较好的应用前景。首先,回顾了近年来的复杂曲面测量方法,并分析其测量特点。然后,着重介绍了采用计算机辅助的光学偏折测量技术及其系统关键性能参数。接着,对光学偏折测量所涉及的测量模型的建立、结构误差的校正、相位的获取和曲面的重构等关键技术的研究进展进行了讨论。最后,总结了基于计算机辅助的光学偏折测量技术的几种典型应用。