微纳尺度下准一维超导体TaSe3的物理减薄

作者：王子佳; 吴志勇; 李承翰; 詹鹏飞; 杨泽燕; 吴海城; 宝日玛; 邢颖^*

来源：微纳电子技术, 2022, 59(01): 74-83.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2022.01.011

• 准一维材料
• 微纳尺度
• 三硒化钽(TaSe3)
• 机械剥离
• 超声辅助液相剥离

在低维材料中,二维材料的剥离技术已经相对成熟,准一维材料由于具有特殊晶格结构,其减薄方法目前还缺乏系统的研究。针对准一维层状超导体TaSe3,借助X射线衍射仪(XRD)、Raman光谱仪(RS)、原子力显微镜(AFM)与光学显微镜(OM)表征手段,系统地研究了微纳尺度样品的机械剥离法与超声辅助液相剥离法。结果表明:在机械剥离法中,提高温度或者改变样品放置方向使其与剥离方向垂直时,总剥离样品数和理想微纳尺度下的样品个数均增加,但理想样品占总样品的比例降低;在超声辅助液相剥离法中,利用超声波破碎仪,在振幅为305μm的条件下,超声20 min时,得到的理想样品最多,且远远多于机械剥离法得到的样品。因此,超声辅助液相剥离法与机械剥离法相比,更适用于微纳尺度准一维材料减薄。

• 单位
  重质油国家重点实验室; 中国石油大学（北京）; 材料学院