基于AFM的机器人化纳米操作系统综述

作者：田孝军; 王越超; 董再励; 席宁

来源：机械工程学报, 2009, (06): 14-23.

• 纳米操作
• 原子力显微镜
• 机器人化
• 探针定位
• 信息反馈

对基于扫描隧道显微镜(Scanning tunnel microscope,STM)及原子力显微镜(Atomicforcemicroscope,AFM)的纳米操作技术发展进行阐述,针对其中存在的主要问题,引述出机器人化纳米操作的必要性。接着,对国内外机器人化纳米操作系统的研究进展、现状及存在的主要问题进行详细分析,提出基于AFM的机器人化纳米操作系统的结构原型,并指出实现机器人化纳米操作所需解决的关键技术问题及相应的解决方案之一,为进行深入的机器人化纳米操作研究提供了可以借鉴的研究方向。

• 单位
  机器人学国家重点实验室; 中国科学院沈阳自动化研究所