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摘要
硅基光子集成谐振腔作为光学敏感单元对芯片级光学陀螺的性能起着至关重要的作用。本论文以互易敏感增强型双微环架构的光子集成陀螺的集成谐振腔为研究对象，通过时域有限差分仿真分析了双微环谐振腔的关键结构参数，并通过搭建仿真链路研究了微环谐振腔的品质因子、精细度与耦合系数、传输损耗的内在关系。在此基础上，选取典型结构参数设计版图，通过基于无源硅基光子集成工艺的MPW流片制备了双微环谐振腔器件。测试结果表明，当微环半径为500μm、波导与微环的耦合系数为0.3，在工作波长1550 nm附近，微环的自由光谱范围为0.182 nm,3 dB带宽为0.045 nm，精细度为4.04，品质因子约为3.4×104。本文研究结果为双微环谐振腔更进一步优化设计提供了依据。
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