用于大气数据系统的硅谐振压力传感器

作者：胡宗达^*; 彭鹏; 李奇思; 杨劼立; 苏晓晓

来源：传感器与微系统, 2023, 42(03): 160-163.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)03-0160-04

• 硅谐振压力传感器
• 复合谐振梁—膜—硅岛结构
• 高精度
• 微机电系统

设计了一种用于机载大气数据系统的高精度微机电系统(MEMS)硅谐振压力传感器。采用了多层硅—硅键合技术、阳极键合技术以获得高稳定性的频率信号输出和圆片级真空封装，其具有高精度、高Q值的特点。芯片采用复合谐振梁—膜—硅岛结构作为谐振器部分，以减小面外谐振模态带来的性能影响。测试结果表明：在量程范围为3～130 kPa,温度范围为-55～85℃,该谐振压力传感器的全温全压精度高达0.01%FS。

• 单位
  成都凯天电子股份有限公司