多晶硅生产中以四氯化硅补氯方式探讨

作者:杜树忠; 周万礼*; 刘自松
来源:云南科技管理, 2021, 34(04): 62-64.
DOI:10.19774/j.cnki.53-1085.2021.04.018

摘要

多晶硅生产中原料和产品本身不含氯,但因过程有氯化工艺需要消耗氯,目前补氯方式主要有以液氯和三氯氢硅方式,在当地具有丰富副产四氯化硅的情况下,采用四氯化硅补氯具有较好的经济效益。

  • 单位
    云南能投化工有限责任公司