Ⅱ类超晶格长波红外探测器研究进展

作者：邢伟荣; 刘铭; 温涛; 周朋; 胡雨农

来源：红外, 2021, 42(03): 1-10.

• Ⅱ类超晶格
• 长波
• 红外探测器

由于具有带隙可调、电子有效质量大、俄歇复合率低等特点,ⅠⅠ类超晶格在长波红外和甚长波红外探测方面具有独特优势。介绍了长波超晶格探测器制备方面的研究进展,包括能带结构设计、表面缺陷控制、周期结构控制和表面钝化。最后报道了320×256长波超晶格焦平面阵列及其测试性能。结果表明,在77K工作温度下,该阵列的截止波长为9.6■m,平均峰值探测率D*为7×1010 cm·Hz1/2/W,噪声等效温差(Noise Equivalent Temperature Difference,NETD)为34mK,响应非均匀性为7%。