一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印方法

作者：谢颖熙; 张伯乐; 陆龙生; 汤勇

来源：2020-03-20, 中国, ZL202010200239.9.

本发明涉及一种基于化学气相沉积法的纳米材料打印方法,包括以下步骤,S1,加热喷头；S2,惰性气体和还原气体分别通过喷头喷射催化剂衬底；S3,驱动装置驱动喷头相对催化剂衬底进行三维移动,惰性气体、还原气体和反应气体分别通过喷头喷射催化剂衬底。通过加热喷头成为高温的喷头,还原气体和反应气体通过高温的喷头后会成为高温还原气体和高温反应气体,无需为催化剂衬底加热即可提供良好的反应条件。高温反应气体在还原气体作用下裂解,生成单个纳米材料“像素点”。随着驱动装置分别驱动喷头和催化剂衬底,便可在催化剂衬底上快速打印出所需图案的纳米材料产品,提升了纳米材料的均匀性和可操作性,可以实现定制化生产。

• 单位
  华南理工大学