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摘要
为了研究精密光学元件表面微弱疵病的散射特性，基于矢量散射理论和双向反射分布函数，建立了光学表面微弱疵病的散射理论模型。通过仿真计算了双向反射分布函数随散射角的变化情况，分析了入射角度、入射光波长以及疵病自身尺寸等因素对疵病散射光特性的影响。基于仿真数据分析，针对光源参数对散射特性的影响进行仿真分析，为使用暗场成像法进行精密表面疵病检测的系统参数选择提供理论参考，疵病检测入射角范围为30°～50°最佳；在可见光范围内时，380～500 nm的波长范围更有利于疵病检测。另外还通过研究疵病尺寸发生改变时散射场变化的规律，为分辨疵病的形状大小等信息提供了参考依据。
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