金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线

作者：姚日晖; 陈梓铭; 王志恒; 陈颖聪; 陈津桥

来源：材料导报, 2013, 27(23): 1-6.

• 金属催化化学腐蚀
• 硅
• 纳米线 metal-assisted chemical etching
• silicon
• nanowires

主要阐述采用金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线。首先介绍了金属催化化学腐蚀法的基本原理和条件,然后探讨了催化金属的种类、腐蚀时间、腐蚀液浓度、硅衬底的晶向、掺杂浓度等各种因素对金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线的影响。

• 单位
  材料科学与工程学院; 华南理工大学; 发光材料与器件国家重点实验室