超硬超厚类金刚石薄膜合成研究

作者：张文英; 黄楠; 孙鸿; 冷永祥; 杨文茂; 陈俊英

来源：功能材料, 2004, z1: 2178-2179,2182.

DOI：10.3321/j.issn:1001-9731.2004.z1.602

• DLC
• 类金刚石薄膜
• FCVA
• 超硬超厚

采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(＞6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.

• 单位
  西南交通大学