常见放气率测试方法的量化比较

作者：关玉慧^*; 宋洪; 董海义; 黄涛; 王鹏程; 刘佳明; 刘顺明; 谭彪; 孙晓阳

来源：真空科学与技术学报, 2020, 40(06): 524-530.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2020.06.05

• 真空技术
• 放气率测试
• 转换气路
• molflow

对材料放气率的准确测量至关重要,本文对自主设计出的转换气路(SPP)法测试装置进行了试用,装置重复性较好。将此方法与工程上常用的静态升压法、小孔流导法进行了数量上的直观比较,SPP法比小孔流导法、静态升压法测得的放气率更低。结合molflow模拟,实测值与模拟值相互验证,分析了误差来源,明确了提升方向。

• 单位
  散裂中子源科学中心; 中国科学院高能物理研究所