一种具有高品质因数的自卷曲电感的制备方法

作者：黄文; 汪颖; 张子涵

来源：2022-12-07, 中国, CN202211561908.0.

本发明公开一种具有高品质因数的自卷曲电感的制备方法,属于电子器件技术领域。制备操作步骤：(1)在衬底上沉积牺牲层,第一次光刻确定操作台面；(2)利用原子层沉积方法沉积氧化保护层；(3)沉积金属应变层,得到U型金属图案；(4)通过干法刻蚀或湿法刻蚀,刻蚀牺牲层,利用金属应变层的金属薄膜应力,触发卷曲得到金属结构的自卷曲电感；(5)对金属结构的自卷曲电感镀金或镀铜处理,得到一种具有高品质因数的自卷曲电感。本发明的自卷曲电感,其应变层由金属薄膜构成能够减小趋肤效应,提升品质因数。而且卷曲后的电感经镀金或镀铜处理后,能够增加金属薄膜的厚度,使品质因数提高到非金属应变层结构电感的2～30倍。

• 单位
  合肥工业大学