磁过滤对多弧离子镀(TiAl)N薄膜的影响

作者：李成明; 张勇; 曹尔妍; 薛明伦

来源：中国有色金属学报, 2022, S1: 179-182.

• 过滤电弧
• 薄膜
• 宏观颗粒
• 抗氧化性能

介绍了利用过滤电弧离子镀沉积 (TiAl)N薄膜初步的研究结果。在电弧靶材前沿的磁场作用下 ,有效减小了薄膜的宏观颗粒尺寸 ,并极大地降低了颗粒密度。同时 ,过滤电弧的作用 ,使偏压对膜成分的影响减弱 ,薄膜的硬度随膜中铝含量的增加而提高 ,(TiAl)N的抗氧化能力明显提高。

• 单位
  中国科学院力学研究所