VGF法生长半导体晶体的研究进展

作者：范叶霞

来源：激光与红外, 2015, 45(05): 476-482.

• VGF法
• 半导体晶体
• 晶体生长

VGF法可实现晶体生长条件可控,晶体重复性好,所生长晶体尺寸大、位错密度低、应力小,是一种很有前景的晶体生长方法。本文综述了VGF法生长半导体晶体、数值模拟和磁场应用的国内外研究进展。

• 单位
  华北光电技术研究所