科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
小型气体激光器腔体增益孔的直径小于1 mm,深度大于10 mm,长径比大,传统的方法很难对其进行测量。为了解决这种微深孔的测量问题,介绍了一种接触测量与光学测量相结合的方法。将末端带有发光球的光纤伸入待测孔中,在待测零件孔中做x、y方向移动,当球与孔壁接触后,会引起球心做相应的运动,利用CCD捕获发光球的球心,通过图像处理,可得出接触点处测头球心的xy坐标,拟合多点测量结果,从而实现深孔的直径、圆柱度及直线度等参数的测量。还通过亚像素边缘检测技术提高了系统的测量精度,最后采用0级标准环规对系统进行了验证,其测量结果的重复不确定度优于0.4μm。并对深度为15 mm、直径为0.6 mm的孔在三维测量显微镜上进行了测量,实验证明此测量方法为大长径比的孔的检测提供了一种可行的方法。
-
单位国防科学技术大学
