文章简要介绍了三种镀层内应力测试方法，并利用螺旋应力仪研究了不同化学镀铜液所得铜沉积层的内应力，分析了常用化学镀铜液添加剂氰化物、联吡啶、2-巯基苯并噻唑（2-MBT）、镍离子等对镀层内应力的影响，以及添加剂在镀液中的含量及沉铜反应温度对沉积层内应力的影响。通过对内应力和铜沉积速率的分析，发现二者存在着一定的关联。
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