四探针法测量薄层电阻方法对比

作者：姚子祥; 刘洪山^*

来源：信息记录材料, 2020, 21(03): 245-246.

DOI：10.16009/j.cnki.cn13-1295/tq.2020.03.152

• 四探针
• 薄层电阻
• 电阻率

通过分析对比常规直线四探针、双电法、范德堡法的测试原理及优缺点,有如下结论:在待测样品较厚时,以常规四探针为宜;对于较薄样品中双电法测试精度更高;范德堡法经改进后,更加适合微区薄层电阻的测量。

• 单位
  电子工程学院; 华南农业大学