科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
本发明提出了一种亚微米量级的高精度探测系统和位置角度探测方法,主要解决了现有位置和角度探测系统测量精度低、系统体积大、价格昂贵的问题,其包括：光路单元(1)、探测单元(2)和信息处理单元(3)。其中,探测单元(2)使用了两个位置敏感探测芯片同时独立测量位置和角度信息。外部的模拟光源准直通过光路单元到达探测单元,探测单元将获得的电压信息传送到信息处理单元,信息处理单元将计算得到的位置和角度值实时显示在上位机的程序页面上。本发明简化了系统结构,减小了系统体积,提高了检测过程的灵敏性和检测结果的可靠性,适用于对亚微量级的目标探测和干扰检测。
- 单位
