本发明公开了一种考虑恶化效应和资源分配的芯片制造智能调度方法和系统,通过使用Benders分解法,根据主问题的结构性质设计了启发式算法,并通过将VNS算法和启发式算法相结合的智能算法求解,获得局部最优解。本发明通过设计启发式算法,实现了在中小规模数据下,上述算法能够在较短的时间内快速收敛到近似最优解。同时本过程综合考虑工件、机器以及资源等因素的协同调度,能够为降低企业成本、提高资源利用率提供了思路,给生产管理者提供了决策理论支持。