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摘要
采用传统固相合成法制成的LSCO作为功能相,并用钙硼硅玻璃作为无机粘结相制备了厚膜电阻浆料。研究了玻璃相的含量、峰值烧结温度对厚膜方阻及电阻温度系数的影响。结果表明:当浆料固相成分中玻璃相的质量分数为3%～9%(体积分数为11.11%～28.56%)时,制备的厚膜电阻浆料方阻变化范围为1kΩ/□～10MkΩ/□。电阻温度系数为-8000×10-6/℃～-5000×10-6/℃。
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单位电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室
