玻璃磨边机改造成氧化铟锡靶材磨边机的研究

作者：陆映东; 黄誓成^*

来源：装备制造技术, 2020, (04): 84-86.

• 靶材
• 崩角
• 磨边机

通过对玻璃磨边机改造成靶材磨边机后实际操作的分析,找出出现的主要问题。改造中出现的崩角、面裂纹及台阶等缺陷经过优化后,改造后可以对靶材进行公差正负0.1 mm以内的加工,并且能够进行大斜面加工。

• 单位
  广西晶联光电材料有限责任公司