真空脱气装置抽气系统阻降过大分析研究

作者:赵腾; 陈志东; 张新平; 商亚丹; 周榕平
来源:真空, 2015, 52(01): 60-62.
DOI:10.13385/j.cnki.vacuum.2015.01.15

摘要

分析了造成真空脱气装置抽气系统阻降过大的可能性原因,建立了适用于工程设计的计算模型,计算得出气体冷却器是造成阻降过大的主要原因,计算结果与真空计实测值接近。提出了新的改进办法,如增加冷却器通导面积,调整列管排布结构。最后给出了一种新型的冷却器设计方案,使系统阻降由200 Pa降至21 Pa,工作真空度达到67 Pa以上,终点[H]由2.2 ppm降至1.4 ppm,满足冶金工艺要求。该文对未来真空脱气设备工程应用具有一定的指导意义。

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