铁电负电容可测试性的仿真研究

作者：王步冉; 李珍; 谭欣; 翟亚红

来源：微电子学, 2019, 49(05): 724-728.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.190352

• 铁电材料
• 负电容效应
• 负电容场效应晶体管

铁电材料具有负电容特性,可应用于新一代超低亚阈值摆幅晶体管中。由于铁电负电容具有准静态特性,在实际测试中,难以直接观测到单独铁电电容的负电容现象。基于"Ginzburg-Landau"模型,采用TCAD软件,构建了紧凑的HfO2铁电电容结构,并通过仿真获得了匹配的RC电路参数,验证了负电容特性。同时,仿真研究了外加电压幅值与串联电阻阻值对铁电电容负电容效应可测试性的影响。

• 单位
  西南电子设备研究所; 电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室